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一种硅片腐蚀清洗机自动补液装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201820447995.X
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2018-04-02
  • 申请人:
    南轩(天津)科技有限公司
著录项信息
专利名称一种硅片腐蚀清洗机自动补液装置
申请号CN201820447995.X申请日期2018-04-02
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人南轩(天津)科技有限公司申请人地址
天津市宝坻区宝坻塑料制品工业区广仓道9号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南轩(天津)科技有限公司当前权利人南轩(天津)科技有限公司
发明人马胜南
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种硅片腐蚀清洗机自动补液装置,包括主体,所述主体由第一储液室、第二储液室和废液储存室组成,所述第一储液室的上方安装有封闭盖,且第一储液室内设置有总储液室,所述第一储液室的右侧下方外壁开设有电源接口,所述总储液室内套设有陶瓷防护套,所述封闭盖的上方外壁与总储液室对应位置处设置有进液阀,所述总储液室的下方内壁开设有储液口,该设备设置有三个总储液室,其可同时储存三种溶液,之后,在通过相应的出液电磁阀排出,其可在较短的时间内对多种溶液进行补液,且无需花费大量时间与精力将储液室清洗好后再填充相应的液体并进行补液操作,其操作简单方便,实用性较强。

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