离子源及其运行方法

发明专利无效专利

申请号：
CN01138429.8
IPC分类号：H01J27/08H01J37/08C23C14/48
申请日期：
2001-11-09
申请人：
日新电机株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	离子源及其运行方法
申请号	CN01138429.8	申请日期	2001-11-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-06-12	公开/公告号	CN1353443
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J27/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J27/00 离子束管（H01J 25/00，H01J 33/00，H01J 37/00优先；粒子加速器入H05H） H01J27/02 离子源；离子枪〔3〕 H01J27/08 应用电弧放电的〔3〕	IPC分类号	H01J27/08;H01J37/08;C23C14/48查看分类表>
申请人	日新电机株式会社	申请人地址	日本京都府*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日新意旺机械股份公司,日新离子设备株式会社	当前权利人	日新意旺机械股份公司,日新离子设备株式会社
发明人	宫本直树
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	罗朋;叶恺东

摘要

在离子源中，背反射器(10)与等离子体产生器(2)和与灯丝(6)之间均为电绝缘。背反射器(10)与反向反射器之间为电连接。此外，直流偏置电源(32)是与灯丝电源(24)和与电弧电源(26)相独立的电源。直流偏置电源(32)用于在反向反射器8和背反射器(10)与等离子体产生器之间施加偏压(VB)，并且以二个反射器(8)和(10)作为负电位。在运行离子源时，控制来自所述直流偏置电源的直流偏压输出的幅度以便对从所述离子源拉出的离子束的数量进行控制。

机械驱动活塞作用于流体的对夹摇摆托盘活塞摇摆驱动机

发明授权

离子源及其运行方法

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