加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

半导体器件及制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011323234.1
  • IPC分类号:H01L21/8234;H01L27/088
  • 申请日期:
    2020-11-23
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称半导体器件及制造方法
申请号CN202011323234.1申请日期2020-11-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-07-20公开/公告号CN113140507A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8234
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;4;;;H;0;1;L;2;7;/;0;8;8查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人柯忠廷;徐志安
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人陈蒙
摘要
本公开涉及半导体器件及制造方法。一种方法,包括:形成突出高于隔离区域的顶表面的半导体鳍。隔离区域延伸到半导体衬底中。该方法还包括:蚀刻半导体鳍的一部分以形成沟槽;用第一电介质材料填充沟槽,其中,第一电介质材料具有第一带隙;以及执行凹陷工艺以使第一电介质材料凹陷。在隔离区域的相对部分之间形成凹槽。用第二电介质材料填充凹槽。第一电介质材料和第二电介质材料组合形成附加隔离区域。第二电介质材料具有小于第一带隙的第二带隙。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供