横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910316323.4
IPC分类号：G01B11/255
申请日期：
2019-04-19
申请人：
北京理工大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法
申请号	CN201910316323.4	申请日期	2019-04-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-06-14	公开/公告号	CN109883357A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/255 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率 G01B11/255 用于测量曲率半径〔7〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;5;5查看分类表>
申请人	北京理工大学	申请人地址	北京市海淀区中关村南大街5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京理工大学	当前权利人	北京理工大学
发明人	邱丽荣;郝群;肖阳;赵维谦
代理机构	北京正阳理工知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	邬晓楠

摘要

本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法。该方法将差动共焦探测器中焦前焦后两路探测器探测到的光斑分别采用不同大小虚拟针孔进行横向相减得到锐化后的横向相减共焦响应曲线，将两路横向相减共焦响应曲线差动相减后得到横向相减差动共焦响应曲线，根据横向相减差动共焦响应曲线的过零点精确确定被测抛物面镜的表面顶点和焦点位置，得到被测抛物面镜顶点曲率径的精确值。本发明中横向相减激光差动共焦的光强响应曲线过零点附近的斜率大于传统的差动共焦光强响应曲线，因而定焦灵敏度高，测量精度得到提高；并且抗环境干扰能力强。本方法测量精度高，抗环境干扰能力强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供