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晶体管功率开关器件及测量其特性的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200980160430.7
  • IPC分类号:H01L29/78;G01R31/26;G01R31/28;G01N27/04;H01L29/06
  • 申请日期:
    2009-08-18
  • 申请人:
    飞思卡尔半导体公司
著录项信息
专利名称晶体管功率开关器件及测量其特性的方法
申请号CN200980160430.7申请日期2009-08-18
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2012-05-23公开/公告号CN102473724A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/78
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;G;0;1;R;3;1;/;2;6;;;G;0;1;R;3;1;/;2;8;;;G;0;1;N;2;7;/;0;4;;;H;0;1;L;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人飞思卡尔半导体公司申请人地址
美国得克萨斯 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人恩智浦美国有限公司当前权利人恩智浦美国有限公司
发明人比阿特丽斯·贝尔努,勒内·埃斯科菲耶,让·米切尔·雷内斯
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人谢晨,刘光明
摘要
晶体管功率开关器件(700,1000,1402)包括用于在半导体本体(101)的第一和第二面之间输送电流的垂直晶体管元件(108)的阵列。该器件还包括半导体监测元件(702,1002,1404),该监测元件包括位于半导体本体(101)中的第一和第二半导体监测区域(704,706)和不同于晶体管阵列的电流传送导电层(110)的监测导电层(708,1004,1406)。半导体监测元件(702,1002,1404)提供了代表该晶体管阵列的半导体属性。测量半导体监测元件(702,1002,1404)的特性以作为晶体管阵列的特性的表示。通过测量并记录当晶体管功率开关器件是新的时的参数并且将其与器件(1402)操作之后的数值进行比较,来监测晶体管功率开关器件(1402)的源金属老化,其中该参数是监测导电层(1406)的方块电阻的函数。将测量的电流(IO)施加到监测导电层(1406)的细长的条状元件(1802)上的第一位置和条的一对横向延伸部的一个上的第一位置之间,并且测量在该细长的条状元件(1802)和所述的一对横向延伸部的另一个上的第二位置之间产生的相应的电压(ΔV)。

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