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制备高纯度磷化氢和其它气体的方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN99810169.9
IPC分类号：C01B25/06;H05B6/50;A61L2/00;A47J37/08;C23C16/00
申请日期：
1999-07-06
申请人：
电子转移技术公司

基础信息

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	制备高纯度磷化氢和其它气体的方法和装置
申请号	CN99810169.9	申请日期	1999-07-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2001-11-21	公开/公告号	CN1323276
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B25/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B25/00 磷；其化合物（C01B 21/00、C01B 23/00优先；过磷酸盐入C01B 15/16）〔3〕 C01B25/06 磷化氢	IPC分类号	C;0;1;B;2;5;/;0;6;;;H;0;5;B;6;/;5;0;;;A;6;1;L;2;/;0;0;;;A;4;7;J;3;7;/;0;8;;;C;2;3;C;1;6;/;0;0查看分类表>
申请人	电子转移技术公司	申请人地址	美国新泽西州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	电子转移技术公司	当前权利人	电子转移技术公司
发明人	W·M·阿耶尔斯
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	罗才希

摘要

本发明描述了在半导体的生产和掺杂中所用的高纯度磷化氢气体或其它气体的生成的装置和方法。所述优选装置包括采用微波辐射来生成气体的设备、控制生成速率的设备(10)、纯化产物气体的设备以及用稀释气体可控混合所述气体至所需输送组合物的设备。通过这些设备，生成直接导入用于制造和掺杂半导体的工艺过程的、具有足够纯度、合适压力以及所需体积的气体。

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