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一种研磨垫

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420581031.6
  • IPC分类号:B24B37/26
  • 申请日期:
    2014-10-09
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
著录项信息
专利名称一种研磨垫
申请号CN201420581031.6申请日期2014-10-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B37/26IPC分类号B;2;4;B;3;7;/;2;6查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请人地址
北京市大兴区大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人魏红建
代理机构上海光华专利事务所代理人李仪萍
摘要
本实用新型提供一种研磨垫,所述研磨垫包括:研磨垫体;形成于所述研磨垫体表面的若干个圆环形沟槽;以及形成于所述研磨垫体边缘区域的台阶结构。本实用新型在研磨垫边缘设置有若干梯度相等的台阶,并在在每个台阶的表面形成不同颜色涂层,在研磨过程中,通过观看不同区域的颜色,就可以看出研磨垫沟槽的深度,从而可以直观判断出研磨垫的剩余寿命,大大降低了时间成本和人力成本。本实用新型结构简单,适用于工业生产。

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