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半导体器件的制造方法和系统

发明专利无效专利

申请号：
CN87104656.3
IPC分类号：--
申请日期：
1987-07-04
申请人：
株式会社半导体能源研究所

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	半导体器件的制造方法和系统
申请号	CN87104656.3	申请日期	1987-07-04
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社半导体能源研究所	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社半导体能源研究所	当前权利人	株式会社半导体能源研究所
发明人	山崎舜平
代理机构	中国专利代理有限公司	代理人	李先春;肖掬昌

摘要

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