一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011192815.6
IPC分类号：H01L21/683;G01N7/10;G01N15/08
申请日期：
2020-10-30
申请人：
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司

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著录项信息

专利名称	一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法
申请号	CN202011192815.6	申请日期	2020-10-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-03-16	公开/公告号	CN112509963A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/683 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;G;0;1;N;7;/;1;0;;;G;0;1;N;1;5;/;0;8查看分类表>
申请人	郑州磨料磨具磨削研究所有限公司	申请人地址	河南省郑州市高新区梧桐街121号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	郑州磨料磨具磨削研究所有限公司	当前权利人	郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
发明人	宋运运;张昕;孙正斌;刘勋;裴亚星;刘猛
代理机构	郑州联科专利事务所（普通合伙）	代理人	蔡艳

摘要

本发明属于真空吸盘技术领域，具体涉及一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法。所述多孔真空吸盘的自洁性检测装置，包括包括真空发生器，所述真空发生器有三个接口，分别连接第一连接管、第二连接管和第三连接管，第一连接管的末端与压缩空气过滤减压阀相连接，第二连接管的末端与大气相通，第三连接管的末端与多孔真空吸盘的抽气孔相连接；第三连接管上连接有电子压力计；压缩空气过滤减压阀通过第四连接管和空气压缩机相连接。采用本发明的检测装置和检测方法能够很好并准确的检测多孔真空吸盘的自洁性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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