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具有抗反射特性的硬质掩模组合物及使用其在基材上将材料图案化的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200780053206.9
  • IPC分类号:G03F7/004
  • 申请日期:
    2007-12-31
  • 申请人:
    第一毛织株式会社
著录项信息
专利名称具有抗反射特性的硬质掩模组合物及使用其在基材上将材料图案化的方法
申请号CN200780053206.9申请日期2007-12-31
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2010-03-24公开/公告号CN101681096
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/004IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;0;4查看分类表>
申请人第一毛织株式会社申请人地址
韩国庆尚北道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人第一毛织株式会社当前权利人第一毛织株式会社
发明人尹敬皓;金钟涉;鱼东善;田桓承;吴昌一;金旼秀;李镇国
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人吴贵明;张英
摘要

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供