一种双光束耦合的激光辅助玻璃料封装系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410000280.6
IPC分类号：C03B23/24
申请日期：
2014-01-02
申请人：
上海微电子装备有限公司;上海大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种双光束耦合的激光辅助玻璃料封装系统和方法
申请号	CN201410000280.6	申请日期	2014-01-02
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-07-08	公开/公告号	CN104761132A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03B23/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03B 玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺（表面处理入C03C） C03B23/00 初型玻璃的再成型（纤维或细丝的再成形入C03B 37/14） C03B23/20 实质上无再成型的玻璃件的熔融结合 C03B23/24 空心玻璃板或玻璃砖的制造	IPC分类号	C;0;3;B;2;3;/;2;4查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司;上海大学	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海大学,上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海大学,上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	朱树存;张建华
代理机构	北京连和连知识产权代理有限公司	代理人	王光辉

摘要

本发明公开一种双光束耦合的激光辅助玻璃料封装系统，其特征在于，包括：一激光光源，用于产生一激光光束；一分光元件，用于将该激光光束分为第一激光光束和第二激光光束；一第一光学元件，用于使该第一激光光束以一倾角入射该玻璃料并形成一加热光斑；一第二光学元件，用于使该第二激光光束以一倾角入射该玻璃料并形成一辅热光斑；该加热光斑与该辅热光斑共焦且同步与该玻璃料做相对扫描运动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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