加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

基板表面处理装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200580044309.X
  • IPC分类号:H01L21/205;C23C16/44;H01L21/304
  • 申请日期:
    2005-12-22
  • 申请人:
    渡边商行株式会社
著录项信息
专利名称基板表面处理装置
申请号CN200580044309.X申请日期2005-12-22
法律状态撤回申报国家暂无
公开/公告日2007-12-12公开/公告号CN101088146
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/205IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;0;5;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人渡边商行株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人渡边商行株式会社当前权利人渡边商行株式会社
发明人梅田优
代理机构北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司代理人吴小灿;张涛
摘要
本发明提供一种能实现运载气体高温化,并且能达到高度均质处理的基板表面处理装置。供给所定的热介质的热介质入口连接上流环,前述热介质放出的热介质出口连接下流环,前述热介质的流动方向是从前述上流环至前述下流环,前述上流环和前述下流环之间被若干个热传导路径所连接,两两相邻的热传导路径中的热介质的流动方向相反,并且热介质可以使用气体。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供