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一种钽靶材及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410833093.6
  • IPC分类号:C23C14/34;C22F1/18
  • 申请日期:
    2014-12-29
  • 申请人:
    宁夏东方钽业股份有限公司
著录项信息
专利名称一种钽靶材及其制备方法
申请号CN201410833093.6申请日期2014-12-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-03-25公开/公告号CN104451567A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;2;F;1;/;1;8查看分类表>
申请人宁夏东方钽业股份有限公司申请人地址
宁夏回族自治区石嘴山市大武口冶金路119号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁夏东方钽业股份有限公司当前权利人宁夏东方钽业股份有限公司
发明人李兆博;汪凯;李桂鹏;宿康宁;李小平;马小文;赵玉林
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人赵青朵
摘要
本发明提供了一种钽靶材及其制备方法,包括以下步骤,首先将钽锭经过第一次锻造后,得到一次锻造坯料;然后将上述步骤得到的一次锻造坯料经过第二次锻造和第一次热处理后,得到二次锻造坯料;再将上述步骤得到的二次锻造坯料经过第三次锻造和第二次热处理后,得到三次锻造坯料;再将上述步骤得到的三次锻造坯料经过第四次锻造和第三次热处理后,得到四次锻造坯料;最后将上述步骤得到的四次锻造坯料经过轧制和第四次热处理后,得到钽靶材;所述第一次锻造为旋转锻造;所述第一次锻造的温度为800~1400℃。本发明制备的钽靶材织构分布均匀、晶粒尺寸小,能够符合高端半导体镀膜行业的使用要求。

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