一种全息瞄准镜衍射光学元件的制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201710941872.1
IPC分类号：G02B5/18;G03H1/04
申请日期：
2017-10-11
申请人：
盖伯精工（苏州）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种全息瞄准镜衍射光学元件的制作方法
申请号	CN201710941872.1	申请日期	2017-10-11
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-01-05	公开/公告号	CN107544107A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/18 衍射光栅	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;1;8;;;G;0;3;H;1;/;0;4查看分类表>
申请人	盖伯精工（苏州）有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区环府路66号信息大厦7A 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	盖伯精工（苏州）有限公司	当前权利人	盖伯精工（苏州）有限公司
发明人	蔡志坚;鄢红日
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明提供一种全息瞄准镜衍射光学元件的制作方法，包括以下步骤：计算所需要的条纹分布和相位分布；将条纹分布和相位分布转化为模板深度分布和曝光量分布；根据模板深度分布和曝光量分布，在光致抗蚀剂基片制作光刻胶掩膜；将光刻胶掩膜复制到金属铬上形成表面微结构，得到铬模板；将铬模板上的表面微结构复制到衍射光学基片上，制得全息瞄准镜衍射光学元件。采用计算机算法获得所需的衍射图案，不会受到实际光学元件制造误差、瑕疵、环境杂散光以及光学系统调节误差的影响；采用电子束扫描或紫外扫描曝光制作光刻胶模板，通过电铸成形方法制作铬模板，不需要复杂的全息曝光光路，对光学系统的调节要求降低，环境因素的影响也大大降低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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