一种镀膜治具的承载工装及镀膜设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022983290.X
IPC分类号：C23C14/50;C23C14/34
申请日期：
2020-12-07
申请人：
宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）

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专利名称	一种镀膜治具的承载工装及镀膜设备
申请号	CN202022983290.X	申请日期	2020-12-07
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/50 基座〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）	申请人地址	安徽省宣城市经济技术开发区青弋江大道宣城科技园B19-1幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）	当前权利人	宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）
发明人	不公告发明人
代理机构	北京三聚阳光知识产权代理有限公司	代理人	吴晓慧

摘要

本实用新型提供了一种镀膜治具的承载工装及镀膜设备，属于半导体加工技术领域，其中，一种镀膜治具的承载工装包括：环形载具，为内部镂空的多面体结构，环形载具的表面安装有用于放置待镀膜件的托盘，环形载具内具有适于容纳靶材的容纳空间；旋转端头，连接在环形载具的一端，旋转端头适于与驱动装置连接；本实用新型提供的镀膜治具的承载工装，驱动装置可以通过旋转端头带动环形载具转动，在进行镀膜时，靶材发生原子脱离，产生溅射粒子，而环形载具的表面安装有待镀膜件，使溅射粒子只能在环形载具内的空间内进行移动，最终都会移动至待镀膜件上，使衬底充分接收溅射粒子，提高靶材利用率，进而使镀膜材料成本下降。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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