一种氧传感器的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN98121843.1
IPC分类号：--
申请日期：
1998-11-13
申请人：
康达(成都)电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种氧传感器的制造方法
申请号	CN98121843.1	申请日期	1998-11-13
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2000-01-19	公开/公告号	CN1241822
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	康达(成都)电子有限公司	申请人地址	四川省成都市永丰路二段高新技术产业开发区标准厂房22E*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	康达(成都)电子有限公司	当前权利人	康达(成都)电子有限公司
发明人	张益康;杨邦朝
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种氧传感器的制造方法,采用模压成形和预置烧结工艺技术制作氧化锆薄片并在薄片上形成一个扩散孔,在该氧化锆薄片两侧印刷两个电极,其中一个电极处于一个扩散室中,采用厚膜微电子工艺技术制作一个加热器为该氧传感器加热。通过该方法制得的氧传感器,由于保持了扩散孔的一致性,所以传感器互换性好;由于制作了加热器,并使传感器与加热器一体化,从而提高了热效率,所以该方法制造的氧传感器使用温度范围更加广泛。

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