一种高效晶圆片的清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023292126.0
IPC分类号：H01L21/67;B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00
申请日期：
2020-12-30
申请人：
江苏亚电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种高效晶圆片的清洗装置
申请号	CN202023292126.0	申请日期	2020-12-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	江苏亚电科技有限公司	申请人地址	江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏亚电科技有限公司	当前权利人	江苏亚电科技有限公司
发明人	钱诚;李刚;周兴江
代理机构	北京商专润文专利代理事务所（普通合伙）	代理人	陈平

摘要

本实用新型公开了一种高效晶圆片的清洗装置，包括清洗桶，所述清洗桶主要由外桶体、内桶体、喷头组成，所述外桶体内侧顶部固定有所述内桶体，所述内桶体内侧顶部设置有向下倾斜的所述喷头，还包括驱动机构，所述驱动机构包括机架、电机，所述机架通过螺栓连接在所述外桶体顶部。本实用新型通过联动的方式对晶圆进行清洗，实现了一次清洗多个晶圆的功能，提高了清洗效率，还可以在晶圆上升的过程中，利用内桶体内部的清洗液对晶圆进行冲洗，使得外桶体内部的清洗液使用的时间更长，进而实现了节约清洗液的功能；还实现了可以安装不同大小的晶圆，提高了本装置的实用性，还可以通过把插接头从连接头底部拆卸下来，使得安装晶圆时更加的方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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