简化蝇眼式光束均匀器

发明专利无效专利

申请号：
CN03150508.2
IPC分类号：--
申请日期：
2003-08-22
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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著录项信息

专利名称	简化蝇眼式光束均匀器
申请号	CN03150508.2	申请日期	2003-08-22
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-05-05	公开/公告号	CN1493896
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市800－211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	叶震寰;楼祺洪;董景星;魏运荣;李红霞
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种用于准分子激光的简化蝇眼式光束均匀器，是由两组母线互相垂直的石英柱面镜叠加组合成类似3*3的蝇眼透镜阵列。中心部分为正方形或矩形镂空，柱面镜的受光宽度与中心镂空的宽度组成三等分。当矩形(或经整形为正方形)光斑的准分子激光照射到均匀器时，中心镂空部分直接通光，而边缘部分的光束通过柱面镜汇聚，并在其后的某一设计位置重叠，即将激光束分割成九部分后再叠加以达到光强平均的效果。本发明的简化蝇眼式光束均匀器结构简单，达到了3*3蝇眼均匀器的效果，克服了加工方面的困难，灵活机动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN102879908B	2012-10-24	2012-10-24	补偿光源系统及列车运行故障动态图像检测设备有效专利	北京凯普林光电科技有限公司
2	CN102879908A	2012-10-24	2012-10-24	补偿光源系统及列车运行故障动态图像检测设备有效专利	北京凯普林光电科技有限公司

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