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一种蓝宝石复合衬底及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510667185.6
  • IPC分类号:H01L33/12;H01L33/22;H01L33/00
  • 申请日期:
    2015-10-16
  • 申请人:
    山东元旭光电有限公司
著录项信息
专利名称一种蓝宝石复合衬底及其制备方法
申请号CN201510667185.6申请日期2015-10-16
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2016-01-20公开/公告号CN105261682A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/12IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;1;2;;;H;0;1;L;3;3;/;2;2;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人山东元旭光电有限公司申请人地址
山东省潍坊市高新区玉清街以北银枫路以西光电园第三加速器西区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东元旭光电股份有限公司当前权利人山东元旭光电股份有限公司
发明人许南发;王瑞敏;玄成帅;郭明灿
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种蓝宝石复合衬底及其制备方法,蓝宝石衬底包括氧化铝层,其制备方法包括步骤先让清洗干净的蓝宝石基板上生长一层掩膜层,并在掩膜层上涂覆光刻胶,然后利用光刻技术对掩膜层上未有图形区域进行光刻。光刻完毕后利用BOE溶液或RIE刻蚀,去除没有光刻胶保护的掩膜层区域,再利用湿法溶液去除残余的光刻胶。接着在掩膜层的保护下腐蚀蓝宝石基板直至蓝宝石基板,使相邻图形的底部粘连到一起,再使用湿法清洗图形化蓝宝石基板。最后利用溅射设备,在蓝宝石基板上沉积一层氮化铝,至此形成了蓝宝石复合衬底。因此本发明的蓝宝石复合衬底的制备方法,可以实现大面积、低成本、工业化的复合图形蓝宝石衬底制备。

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