使用多台摄像机的衬底检查

发明专利有效专利

申请号：
CN200980102439.2
IPC分类号：G01N21/00
申请日期：
2009-01-11
申请人：
奥博泰克有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	使用多台摄像机的衬底检查
申请号	CN200980102439.2	申请日期	2009-01-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-12-08	公开/公告号	CN101910822A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先）	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	奥博泰克有限公司	申请人地址	以色列亚夫内变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥博泰克有限公司	当前权利人	奥博泰克有限公司
发明人	奥弗·萨菲尔;伊斯雷尔·沙皮拉;雅科夫·戴维迪
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	史新宏

摘要

检查装置包括包含多台摄像机的成像组件，所述多台摄像机安装在所述成像组件中的各自不同地点中，并被配置成捕获样品的各自图像。运动组件被配置成移动所述成像组件和所述样品的至少一个，以便使所述成像组件以受预定位置公差限制的扫描精度扫描所述样品。图像处理器耦合成接收和处理所述摄像机捕获的图像，以便以比所述位置公差优良的位置精度定位所述样品中的缺陷。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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