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载台及使用载台的晶圆量测方法及装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201811324619.2
  • IPC分类号:H01L21/687;H01L21/66
  • 申请日期:
    2018-11-08
  • 申请人:
    万润科技股份有限公司
著录项信息
专利名称载台及使用载台的晶圆量测方法及装置
申请号CN201811324619.2申请日期2018-11-08
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2019-08-23公开/公告号CN110164812A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人万润科技股份有限公司申请人地址
中国台湾高雄市821路竹区路科十路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人万润科技股份有限公司当前权利人万润科技股份有限公司
发明人周勋干;黄景德;谢振盛
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人闻卿
摘要
本发明提供一种载台及使用载台的晶圆量测方法及装置;该载台,包括:一载座,设有一盖板与一底板;一载盘,设于该载座上可承载一晶圆升降与旋转;一载盘驱动机构,设于该盖板与该底板之间,其设有一第一驱动件与一第二驱动件可驱动该载盘旋转与升降;一第一支承机构,可于一第一高度支承该晶圆;一第二支承机构,可于一低于该第一高度的第二高度支承该晶圆;该载盘上升至一量测高度时,该载盘的一上表面高于该第一高度;该载盘下降至一等待高度时,该上表面低于该第二高度。

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