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用于扭转空间光调制器的倾斜电极元件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510738054.2
  • IPC分类号:G02B26/08
  • 申请日期:
    2015-11-03
  • 申请人:
    德州仪器公司
著录项信息
专利名称用于扭转空间光调制器的倾斜电极元件
申请号CN201510738054.2申请日期2015-11-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-05-11公开/公告号CN105572860A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/08IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人德州仪器公司申请人地址
美国德克萨斯州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人德州仪器公司当前权利人德州仪器公司
发明人帕特里克·I·奥登;詹姆斯·C·贝克;桑德拉·郑;威廉姆·C·麦克唐纳;兰斯·W·巴伦
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人暂无
摘要
本发明涉及用于扭转空间光调制器的倾斜电极元件。提供一种通过在衬底(11)上沉积光致抗蚀剂间隔层(15)而形成例如DMD型像素的微机电系统MEMS像素(10)的方法。将所述光致抗蚀剂间隔层暴露于灰阶光刻掩模(28)以塑形所述光致抗蚀剂间隔层的上部表面(30)。控制部件(13a)形成于所述经塑形间隔层上,且具有经配置以使能量密度最大化的倾斜部分(22)。成像部件(14a)经配置以依据所述控制部件定位以形成空间光调制器SLM。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供