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基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420135881.3
  • IPC分类号:H01L33/02
  • 申请日期:
    2014-03-24
  • 申请人:
    上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司
著录项信息
专利名称基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片
申请号CN201420135881.3申请日期2014-03-24
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/02IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;0;2查看分类表>
申请人上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司申请人地址
上海市青浦区华浦路500号6幢A区1层131室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海夕心半导体科技有限公司当前权利人上海夕心半导体科技有限公司
发明人蔡卓然;高海;刘智;尹祥麟;刘正伟;张欣瑶;周环宇
代理机构上海申汇专利代理有限公司代理人金碎平
摘要
本实用新型公开了一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片,包括衬底,其中,所述衬底为LAO衬底,所述LAO衬底上依次设置有缓冲层、第一非掺杂层、第一掺杂层、量子阱层、电子阻挡层和第二掺杂层;所述缓冲层为非极性m面GaN缓冲层,所述第一非掺杂层为非极性非掺杂u-GaN层,所述第一掺杂层为非极性n型掺杂GaN薄膜,所述量子阱层为非极性InGaN/GaN量子阱层,所述电子阻挡层为非极性m面AlGaN电子阻挡层,所述第二掺杂层为非极性p型掺杂GaN薄膜。本实用新型提供的基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片,具有缺陷密度低、结晶质量好,发光性能好的优点,且制备成本低廉。

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