多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520978941.2
IPC分类号：C23C14/56
申请日期：
2015-11-30
申请人：
广东腾胜真空技术工程有限公司

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专利名称	多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置
申请号	CN201520978941.2	申请日期	2015-11-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人	广东腾胜真空技术工程有限公司	申请人地址	广东省肇庆市端州一路宾日工业村变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东腾胜真空技术工程有限公司	当前权利人	广东腾胜真空技术工程有限公司
发明人	朱文廓;朱刚劲;朱刚毅
代理机构	广州市华学知识产权代理有限公司	代理人	谢静娜;裘晖

摘要

本实用新型公开一种多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置，包括阀座、阀盖和阀盖驱动机构，阀盖设于阀座上方，阀盖顶部与阀盖驱动机构连接；真空锁装置设于相邻两个真空室的连接处，阀座上设有供卷绕基材通过用的倾斜通孔，倾斜通孔与真空室侧壁上的进料孔连通。本真空锁装置结构简单，使用灵活而方便，所占体积较小，可直接在各真空室上加装即可，不影响真空室的现有结构，其制造成本也低。将其应用于多室卷绕镀膜系统，可将各个处理区域设置成相互独立的真空室，可方便换卷或对某一真空室进行维护，有效避免串气或镀膜区域会吸附水蒸气及空气中粉尘而造成污染的现象，防止交叉污染，从而提高产品质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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