一种光学常数测量方法与光学常数测量设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202010713019.6
IPC分类号：G01N21/01;G01N21/21;G01N21/27;G01N21/41
申请日期：
2020-07-22
申请人：
深圳信息职业技术学院

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著录项信息

专利名称	一种光学常数测量方法与光学常数测量设备
申请号	CN202010713019.6	申请日期	2020-07-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-11-10	公开/公告号	CN111912785A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/01 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/01 便于进行光学测试的装置或仪器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;0;1;;;G;0;1;N;2;1;/;2;1;;;G;0;1;N;2;1;/;2;7;;;G;0;1;N;2;1;/;4;1查看分类表>
申请人	深圳信息职业技术学院	申请人地址	广东省深圳市龙岗区龙翔大道2188号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳信息职业技术学院	当前权利人	深圳信息职业技术学院
发明人	靳京城;肖海兵;周泳全;徐晓梅;张卫;刘明俊
代理机构	深圳中一联合知识产权代理有限公司	代理人	张全文

摘要

本申请适用于光学分析技术领域，提供了一种光学常数测量方法与光学常数测量设备，光学常数测量方法包括以下步骤：获得包括S偏振态的探测光；将探测光按照第一预设入射角照射设置于基底上的待检测的薄膜，探测光照射基底后，获取探测光的偏振方向与入射面的夹角大于或者等于偏振角的分量作为第一反射光谱数据；根据第一反射光谱数据选择色散模型，根据色散模型组合拟合第一反射光谱数据。采用偏振方向与入射面的垂直分量作为第一反射光谱数据，能够放大探测到的第一反射光谱数据的峰谷幅度，具有更高的解析精度；兼具传统的光度法的简单有效的优点和传统的椭偏法的适用范围广的优点；对于偏振光学元件等薄膜元件更具有参考价值。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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