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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

接触式光刻机的调平装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721578522.5
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F9/00
  • 申请日期:
    2017-11-23
  • 申请人:
    深圳市昊光机电应用科技有限公司
著录项信息
专利名称接触式光刻机的调平装置
申请号CN201721578522.5申请日期2017-11-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人深圳市昊光机电应用科技有限公司申请人地址
广东省深圳市龙岗区坪地街道高桥社区教育北路49号1栋第二层至第三层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市昊光机电应用科技有限公司当前权利人深圳市昊光机电应用科技有限公司
发明人陈锋;安大顺;孙宇文
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种接触式光刻机的调平装置,该装置包括作为工件自动调平时的基准面的掩模版、工作台、推力关节轴承、称重传感器、升降机构和控制器;所述推力关节轴承包括轴圈和座圈,所述掩模版置于工作台的上方,所述工作台的下端面安装在轴圈上,所述称重传感器安装在工作台内,且称重传感器的载荷感应点朝下且与轴圈上平面相接触;所述轴圈放置于座圈上,所述轴圈上表面的外沿直径大于座圈上表面的外沿直径,所述轴圈与座圈之间的腔体作为真空腔体,且通过通气孔接到外部的电磁阀并与真空发生器相接。本实用新型整个装置结构简单,结果可靠,重复精度高,避免了结构复杂,加工安装困难,操作复杂等问题。

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