压力传感器的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510771468.5
IPC分类号：G01L1/14;G01L9/12
申请日期：
2015-11-12
申请人：
上海丽恒光微电子科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	压力传感器的制备方法
申请号	CN201510771468.5	申请日期	2015-11-12
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-24	公开/公告号	CN106706174A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/14 通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;4;;;G;0;1;L;9;/;1;2查看分类表>
申请人	上海丽恒光微电子科技有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海丽恒光微电子科技有限公司	当前权利人	上海丽恒光微电子科技有限公司
发明人	刘孟彬;毛剑宏
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李时云

摘要

本发明揭示了一种压力传感器的制备方法，包括提供一半导体基板，所述半导体基板中形成有互连结构和底部接触电极；形成牺牲层，所述牺牲层覆盖所述底部接触电极；形成压力感应层，所述压力感应层覆盖所述牺牲层、互连结构的上层金属层及剩余的半导体基板表面，所述压力感应层包括顶壁、底壁和侧壁，所述顶壁位于所述牺牲层上，所述侧壁围绕在所述牺牲层的周围，所述底壁位于所述互连结构的上层金属层上；对所述互连结构的上层金属层进行激光退火，从而解决现有技术中压力感应层与上层金属层之间的阻值不均匀的问题，提高了压力传感器的性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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