一种激光传感器折射原理测量透明物质厚度的装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110839540.9
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2021-07-23
申请人：
江汉大学

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著录项信息

专利名称	一种激光传感器折射原理测量透明物质厚度的装置及方法
申请号	CN202110839540.9	申请日期	2021-07-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-29	公开/公告号	CN113566719A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	江汉大学	申请人地址	湖北省武汉市沌口经济技术开发区新江大路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江汉大学	当前权利人	江汉大学
发明人	卢俊辉;史丽娟;郑茗侨;余小飞
代理机构	北京众达德权知识产权代理有限公司	代理人	张晓冬

摘要

本发明涉及检测设备技术领域，具体涉及一种激光传感器折射原理测量透明物质厚度的装置及方法，包括激光头，所述激光头设置在被测透明物质的正上方，所述被测透明物质的下侧放置有漫反射板；还包括光学系统，所述光学系统上方设置有探测器。本发明具有的有益效果是：将激光传感器安装在被测透明物质的正上方，漫反射板置于透明物质的底部，激光传感器发射激光并垂直透射被测透明物质，透射光在漫反射板表面发射，其中一路发射光在透明物质上表面发生折射，折射光在探测器上形成光斑，折射光斑位置与透明物质厚度相关，激光传感器通过测量折射光斑位置间接测量被测透明物质厚度；该种方法为非接触式测量，精度可达微米级。

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