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以LIGA工艺制造单层或多层金属结构体的方法及获得的结构体

发明专利有效专利

申请号：
CN200710085765.X
IPC分类号：G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;C25D5/02;G04B1/14;G04B33/00
申请日期：
2007-03-14
申请人：
岛尼尔公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	以LIGA工艺制造单层或多层金属结构体的方法及获得的结构体
申请号	CN200710085765.X	申请日期	2007-03-14
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2007-09-19	公开/公告号	CN101038440
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/16 涂层处理及其设备（用于基底材料涂层一般入B05；用于摄影目的而施加到基底上的感光成分入G03C 1/74）	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;1;6;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;7;/;2;6;;;C;2;5;D;5;/;0;2;;;G;0;4;B;1;/;1;4;;;G;0;4;B;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	岛尼尔公司	申请人地址	瑞士日内瓦变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	劳力士有限公司	当前权利人	劳力士有限公司
发明人	C·绍奇
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	陈平

摘要

本发明涉及用于以LIGA工艺制造单层或多层金属结构体的方法，其中将光致抗蚀剂层沉积在平坦金属衬底上，通过辐照或电子或离子轰击产生光致抗蚀剂模具，将金属或合金电镀在该模具中，将电铸的金属结构体从所述衬底脱离，并且从该金属结构体分离所述光致抗蚀剂，其中将所述金属衬底用作涉及形成金属结构体除了由所述衬底的平表面形成的表面以外的至少一个表面的媒介。

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