加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种栅极间距可调整的阻滞势分析仪

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110367479.2
  • IPC分类号:G01M15/14;G01M15/02
  • 申请日期:
    2021-04-06
  • 申请人:
    江苏深蓝航天有限公司
著录项信息
专利名称一种栅极间距可调整的阻滞势分析仪
申请号CN202110367479.2申请日期2021-04-06
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-07-09公开/公告号CN113092124A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M15/14IPC分类号G;0;1;M;1;5;/;1;4;;;G;0;1;M;1;5;/;0;2查看分类表>
申请人江苏深蓝航天有限公司申请人地址
江苏省南通市通州区五接镇横港沙大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏深蓝航天有限公司当前权利人江苏深蓝航天有限公司
发明人杨祖仪;霍亮
代理机构北京鼎承知识产权代理有限公司代理人顾可嘉;夏华栋
摘要
本公开涉及一种栅极间距可调整的阻滞势分析仪,包括外壳,外壳具有第一安装槽,外壳前端具有第一通孔;第一安装槽内安装第一绝缘圈、入口栅极、第二绝缘圈、电子屏蔽栅极、第三绝缘圈、第四绝缘圈、离子能量扫描栅极、第五绝缘圈、收集极;离子能量扫描栅极固装于第四绝缘圈,第一安装槽内可转动地固装调节杆,调节杆与第四绝缘圈螺纹连接,调节杆可控制第四绝缘圈和离子能量扫描栅极轴向移动。本申请电子屏蔽栅‑离子能量扫描栅间距可调,在同一种等离子体发生装置不同流场位置测量精度将会提高,有效降低系统误差;在不同型号等离子体发生装置之间的诊断中不需要对分析仪重新设计,只需要根据仿真结果改变间距即可进行诊断,适用性好。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供