一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110049994.2
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2011-03-02
申请人：
中国科学院光电技术研究所

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著录项信息

专利名称	一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法
申请号	CN201110049994.2	申请日期	2011-03-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-09-14	公开/公告号	CN102183213A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	中国科学院光电技术研究所	申请人地址	四川省成都市双流350信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电技术研究所	当前权利人	中国科学院光电技术研究所
发明人	赵文川;伍凡;范斌;万勇建
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	卢纪;成金玉

摘要

一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法，检测系统由显示屏、摄像机、电控平移台、半透半反镜和电子计算机组成。摄像机的光心置于待测镜的光轴上。由计算机产生正(余)弦条纹图，并显示在显示屏上。将显示屏上的条纹图投影在被测镜上，反射回来后由摄像机进行拍摄。测量过程中，被测镜固定在电控平移台上，可以在计算机的控制下沿光轴精确移动。对被测镜移动过程中所拍摄的条纹图像进行分析处理得到相位分布，再计算得到非球面法线距和法线角的关系，即非球面的法线汇来描述非球面的面形。同时还可以由法线汇通过几何计算转换到直角坐标系进行评价。本发明具有较大的动态测量范围，为加工过程中波前变化范围较大的非球面反射镜精磨和初抛光阶段提供了检验手段。

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