一种厚度测量装置和厚度测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210528211.3
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2012-12-10
申请人：
北京中科三环高技术股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种厚度测量装置和厚度测量方法
申请号	CN201210528211.3	申请日期	2012-12-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-06-18	公开/公告号	CN103868461A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	北京中科三环高技术股份有限公司	申请人地址	北京市海淀区中关村东路66号甲1号楼（长城大厦）27层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科三环高技术股份有限公司	当前权利人	北京中科三环高技术股份有限公司
发明人	蔡道炎;王进东;敖学如;饶晓雷;胡伯平
代理机构	北京航忱知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	陈立航;郭丽

摘要

本发明提供一种厚度测量装置和厚度测量方法。该厚度测量装置包括：支架，包括上部支架和下部支架；一对激光探头，分别位于所述上部支架和所述下部支架；测量台，安装到所述支架；以及移动部，用于使被测样品相对于所述一对激光探头沿第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向移动。本发明的厚度测量装置和厚度测量方法，在测量被测样品的厚度时，测量探头不与被测样品压力接触，并且被测样品的被测量部分保持平整，因此，特别适合于测量柔性粘结磁体等具有柔性的物体的厚度。并且仅通过一对激光探头即可准确、快捷地得到被测样品的面厚度分布数据。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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