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处理装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710107426.7
  • IPC分类号:H01L21/00;H01L21/67
  • 申请日期:
    2007-05-11
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称处理装置
申请号CN200710107426.7申请日期2007-05-11
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-11-14公开/公告号CN101071764
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人保坂广树;秋山收司;带金正
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
本发明提供一种处理装置,该处理装置能够不增加已有的单装载类型的处理装置的占地面积,通过增设装载端口而改变成双装载类型的处理装置,而且,能够利用已有的自动搬送线实现晶片搬送的完全自动化。本发明的装载室(11)包括:在探针室(12)的侧面隔开规定距离而配置的用来设置晶片的前后两个的第一、第二装载端口(13A、13B);配置在第二装载端口(13B)的下方并且进行晶片的定位的副卡盘(18);和配置在第一、第二装载端口(13A、13B)之间并且在副卡盘(18)与探针室(12)之间搬送晶片的具有能够旋转和升降的搬送臂(141)的晶片搬送装置(14)。

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