一种探针式轮廓仪形貌测量动态误差的控制方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201610312680.X
IPC分类号：G01B21/20;G06F17/50
申请日期：
2016-05-12
申请人：
四川大学

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著录项信息

专利名称	一种探针式轮廓仪形貌测量动态误差的控制方法
申请号	CN201610312680.X	申请日期	2016-05-12
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2016-08-10	公开/公告号	CN105841658A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B21/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B21/00 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件〔3〕 G01B21/20 用于计量轮廓或曲率，例如测定外形〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;2;1;/;2;0;;;G;0;6;F;1;7;/;5;0查看分类表>
申请人	四川大学	申请人地址	四川省成都市武侯区一环路南一段24号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	四川大学	当前权利人	四川大学
发明人	许斌;刘乾乾;赵世平
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种探针式轮廓仪形貌测量动态误差的控制方法，涉及探针式轮廓仪形貌测量领域，以下步骤，(1)、确定轮廓仪形貌测量基本参数；(2)、构建测量力模型以及测量力分析；(3)、构建探针跳动的动力学模型；(4)、被测工件形貌测量的仿真；(5)、根据测量要求，优化选择测量速度与工件装夹高度。本发明不需要修改轮廓仪的硬件结构，针对具体的被测工件和测量要求设置扫描速度与工件的装夹高度，实现对测量动态误差和测量力的优化控制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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