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一种制备金刚石涂层的设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201620158230.5
IPC分类号：C23C16/27;C23C16/44
申请日期：
2016-03-02
申请人：
上海科弦精密工具有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种制备金刚石涂层的设备
申请号	CN201620158230.5	申请日期	2016-03-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/27 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/22 以沉积金属材料以外之无机材料为特征的〔4〕 C23C16/26 仅沉积碳〔4〕 C23C16/27 仅沉积金刚石〔7〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;2;7;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人	上海科弦精密工具有限公司	申请人地址	上海市松江区洞泾镇沈砖公路5599号8幢一楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海科弦精密工具有限公司	当前权利人	上海科弦精密工具有限公司
发明人	滕守斌
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种制备金刚石涂层的设备，其包括底座和罩扣于所述底座上的钟罩以及真空泵，所述底座和所述钟罩之间形成一反应腔，一反应气体输送管贯穿所述底座通向所述反应腔内，所述底座上设有样品台，所述样品台上方布设有热丝，所述热丝连通有热丝电源，所述样品台与所述底座之间设有样品台冷却装置，本实用新型设备具有结构简单、涂层效果理想、被涂覆的产品使用寿命长的优点。

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