一种移料机构及PVD镀膜设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201811228258.1
IPC分类号：C23C14/56;C23C14/50
申请日期：
2018-10-22
申请人：
广东拓斯达科技股份有限公司

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专利名称	一种移料机构及PVD镀膜设备
申请号	CN201811228258.1	申请日期	2018-10-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-25	公开/公告号	CN109082644A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	广东拓斯达科技股份有限公司	申请人地址	广东省东莞市大岭山镇大塘朗村长塘路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东拓斯达科技股份有限公司	当前权利人	广东拓斯达科技股份有限公司
发明人	许钊;吴丰礼;周小江
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	胡彬

摘要

本发明属于自动化上下料技术领域，公开了一种移料机构及PVD镀膜设备。包括固定件、滑动组件、第一夹具及第二夹具，滑动组件能够滑动的设置于固定件上，第一夹具连接于滑动组件一端，第二夹具能够滑动的设置于滑动组件上。本发明提出的移料机构，通过设置滑动组件，第一夹具连接于滑动组件的一端，第二夹具能够滑动的设置于滑动组件上，当滑动组件的运动时能够带动第一夹具动作，第二夹具能够相对滑动组件运动，使得第一夹具和第二夹具可同时动作，也可单独进行动作，第一夹具和第二夹具的一体化设置，使该移料机构结构紧凑，便于维修，减小了移料机构的占地面积，降低了生产成本。本发明提出的PVD镀膜设备，结构紧凑，占地面积小，生产成本较低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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