一种在直升飞机叶片上沉积抗沙尘侵蚀纳米复合膜方法和设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201510903854.5
IPC分类号：C23C14/48;C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06
申请日期：
2015-12-10
申请人：
北京师范大学

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专利名称	一种在直升飞机叶片上沉积抗沙尘侵蚀纳米复合膜方法和设备
申请号	CN201510903854.5	申请日期	2015-12-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-07-20	公开/公告号	CN105779958A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/48 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/48 离子注入〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;4;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;2;;;C;2;3;C;1;4;/;1;6;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6查看分类表>
申请人	北京师范大学	申请人地址	北京市海淀区新街口外大街19号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京师范大学	当前权利人	北京师范大学
发明人	廖斌;何卫峰;欧阳晓平;罗军;张旭;吴先映;王宇东
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种发动机叶片表面结合力优越以及抗沙尘侵蚀能力强的TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法及设备，其中，制备该TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法包括：采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在叶片表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属/金属氧化物薄膜过渡层；在所述的第一层过渡层之上，采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到第二层软DLC层；在所述的第二层软层之上沉积得到第三层超硬TiN膜层；重复工艺制备第二层、第三层直至TiN/DLC/TiN纳米复合膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明，在发动机叶片上沉积TiN/DLC/TiN纳米复合膜能够很好的保护发动机叶片，防止其因沙尘的侵蚀而损害。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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