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掩膜安装装置及方法、成膜装置及方法、以及基板载置器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110267602.3
  • IPC分类号:C23C14/04C23C14/12C23C14/24C23C14/34H01L51/56
  • 申请日期:
    2021-03-12
  • 申请人:
    佳能特机株式会社
著录项信息
专利名称掩膜安装装置及方法、成膜装置及方法、以及基板载置器
申请号CN202110267602.3申请日期2021-03-12
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-14公开/公告号CN113388806A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/04IPC分类号C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/34;H01L51/56查看分类表>
申请人佳能特机株式会社申请人地址
日本*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佳能特机株式会社当前权利人佳能特机株式会社
发明人铃木健太郎
代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司代理人史雁鸣
摘要
本发明提供一种在将掩膜安装到被保持于基板载置器并被输送的基板上时,可以提高成膜精度的技术。根据本发明,在只由基板载置器支承机构(8)支承与构成基板(5)的周缘部的多个边中的沿着规定方向配置的一对相对的边相对应的基板载置器(9)的一对周缘区域时的基板载置器(9)的挠曲量dc,比只由掩膜支承机构(16)支承与构成掩膜(6)的周缘部的多个边中沿着规定方向配置的一对相对的边相对应的掩膜(6)的一对周缘区域时的掩膜(6)的挠曲量dm大。

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