透明基板监测装置和透明基板监测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201380015267.1
IPC分类号：G01B11/06;G01B9/02
申请日期：
2013-03-18
申请人：
韩国标准科学研究院

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	透明基板监测装置和透明基板监测方法
申请号	CN201380015267.1	申请日期	2013-03-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-12-10	公开/公告号	CN104204720A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6;;;G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	韩国标准科学研究院	申请人地址	韩国大田广域市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	韩国标准科学研究院	当前权利人	韩国标准科学研究院
发明人	金在完;金钟安;陈宗汉;姜宙植;严泰凤
代理机构	北京信慧永光知识产权代理有限责任公司	代理人	曹正建;陈桂香

摘要

本发明提供了一种透明基板监测装置和透明基板监测方法。所述透明基板监测装置包括：用于发光的发光单元；双狭缝，所述双狭缝布置于在第一方向和第二方向上限定的平面上并且包括在所述第一方向上彼此间隔开以使光能够从中穿过的第一狭缝和第二狭缝，所述第一方向和所述第二方向与入射光的传播方向相交；光学检测单元，所述光学检测单元测量形成在屏幕平面上的干涉图样的强度轮廓或位置；和信号处理单元，所述信号处理单元接收来自所述光学检测单元的信号以计算光学相位差或光程差。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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