一种基于碳化硅薄膜结构的多功能传感器及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510173593.6
IPC分类号：G01D21/02
申请日期：
2015-04-13
申请人：
湛江市科海科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种基于碳化硅薄膜结构的多功能传感器及其制作方法
申请号	CN201510173593.6	申请日期	2015-04-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-07-22	公开/公告号	CN104792363A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D21/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D21/00 未列入其他类目的测量或测试 G01D21/02 用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量	IPC分类号	G;0;1;D;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	湛江市科海科技有限公司	申请人地址	广东省湛江市开发区人民大道中22号之二框架结构车间变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湛江市科海科技有限公司	当前权利人	湛江市科海科技有限公司
发明人	杨汇鑫;黄海勇
代理机构	广州市南锋专利事务所有限公司	代理人	李慧

摘要

本发明涉及一种基于碳化硅薄膜结构的多功能传感器，其包括硅膜(1)、硅基(2)、碳化硅薄膜(3)和铂电阻器，其中碳化硅薄膜(3)由硅膜(1)和硅基(2)密封在一个真空腔内，碳化硅薄膜(3)由四根折叠梁(6)支撑，碳化硅薄膜(3)的上下表面各制备一层金电极，其特征在于：碳化硅薄膜(3)的上金电极与硅膜(1)形成上电容，碳化硅薄膜(3)的下金电极与硅基(2)形成下电容，在基于碳化硅薄膜结构的多功能传感器内部还设有以上下电容作为电容器的电容测量电路,在硅膜(1)的支撑位置处设有温度传感器(5)。本发明涉及的多功能传感器，不但原理简单，成本较低，更为重要的是能够实现温度、压力、振动三种环境量的同时测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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