一种用于晶圆翻转的后置偏心装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110623107.1
IPC分类号：B25J11/00;B25J15/06;B65G47/91;B65G49/07
申请日期：
2021-06-04
申请人：
上海广川科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于晶圆翻转的后置偏心装置
申请号	CN202110623107.1	申请日期	2021-06-04
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-07	公开/公告号	CN113352336A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J11/00 不包含在其他组的机械手	IPC分类号	B;2;5;J;1;1;/;0;0;;;B;2;5;J;1;5;/;0;6;;;B;6;5;G;4;7;/;9;1;;;B;6;5;G;4;9;/;0;7查看分类表>
申请人	上海广川科技有限公司	申请人地址	上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海广川科技有限公司	当前权利人	上海广川科技有限公司
发明人	曲泉铀;古市昌稔;刘洋
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	陶金龙;吴世华

摘要

本发明公开了一种用于晶圆翻转的后置偏心装置，包括支撑座，固定在支撑座上的θ轴，位于θ轴上的机械下臂和机械上臂，固定在机械上臂末端的翻转机构，其中，机械下臂的一端固定在θ轴上，另一端固定在机械上臂的一端，机械上臂的另一端固定连接翻转机构；所述翻转机构包括翻转底座，电机和翻转轴，其中，翻转轴的一端连接固定在翻转底座前端，另一端固定连接末端执行器，末端执行为中空心结构，且末端执行器内部包含气路，末端执行器的下端包含均匀分布且与气路相通的吸盘，气路的另一端连接真空泵。本发明可以消除现有技术中的晶圆与机械下臂或框架触碰的问题，同时使得末端执行器采用真空吸附晶圆的同时能够随意翻转。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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