输送装置和输送方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910536209.2
IPC分类号：H01L21/677;H01L21/67
申请日期：
2019-06-20
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	输送装置和输送方法
申请号	CN201910536209.2	申请日期	2019-06-20
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-31	公开/公告号	CN110634781A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	田边广太;天野洋一
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳;刘芃茜

摘要

本发明能够抑制齿轮的齿隙所导致的被处理基片的位置偏离。输送装置包括：基座部件、臂和驱动部。基座部件可旋转地设置于输送室内。臂设置于基座部件上，并支承被处理基片。驱动部利用从动力源经由齿轮传递来的动力，使基座部件向第一旋转方向或者作为第一旋转方向的相反方向的第二旋转方向旋转。另外，在将由臂支承的被处理基片输送到处理室时，驱动部使基座部件旋转以使得臂的方向成为从第一径向向第二旋转方向偏离规定角度的第二径向，其中第一径向是从基座部件的旋转中心去向处理室的方向。然后，驱动部使基座部件向第一旋转方向旋转规定角度以使得臂的方向从第二径向成为第一径向。

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