一种微电子加速度传感器及其制备工艺

发明专利无效专利

申请号：
CN201110193706.0
IPC分类号：G01P15/125;B81C1/00
申请日期：
2011-07-12
申请人：
东南大学

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著录项信息

专利名称	一种微电子加速度传感器及其制备工艺
申请号	CN201110193706.0	申请日期	2011-07-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-02-15	公开/公告号	CN102353811A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/125 应用电容变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2;5;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市四牌楼2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	秦明;蔡春华
代理机构	南京天翼专利代理有限责任公司	代理人	汤志武

摘要

一种微电子加速度传感器，在玻璃衬底的上方设置一与玻璃衬底存有间距并开有通孔的单晶硅质量块，设置四条悬浮折叠梁，其一端分别联接悬浮质量块左、右的四个角，另一端分别连接左、右四个对称布置的锚区，设置左、右四个对称布置的悬浮感温梁，每个感温梁均为一条粗细不同的折弯梁，首、尾端分别连接各自的锚区，在悬浮质量块左右两侧的中点各联接一根朝向相反、水平设置的悬浮锁头，在锁头的上下两侧各设有一个与之相配的悬浮锁存钩，各锁存钩与各自的锚区连接，在悬浮质量块通孔下方对位的玻璃衬底上表面设有金薄膜层，所有的锚区均生根于玻璃衬底上表面。制备工艺采用采用Au—Au低温键合实现单晶硅与玻璃衬底的键合并实现电的转移互连。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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