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电容式微机械加速度计及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410380509.3
  • IPC分类号:G01P15/125
  • 申请日期:
    2014-08-04
  • 申请人:
    南京信息工程大学
著录项信息
专利名称电容式微机械加速度计及其制造方法
申请号CN201410380509.3申请日期2014-08-04
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2014-11-19公开/公告号CN104155475A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01P15/125IPC分类号G;0;1;P;1;5;/;1;2;5查看分类表>
申请人南京信息工程大学申请人地址
江苏省南京市浦口区宁六路219号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京信息工程大学当前权利人南京信息工程大学
发明人刘恒;于步云;孟瑞丽;孙冬娇
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司代理人熊玉玮
摘要
本发明公开了电容式微机械加速度计及其制造方法,属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括:硅片基座,形成在硅片基座上的绝缘层,沉积在绝缘层上的检测电容层,以及多晶硅活动结构屏蔽层,多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空,多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移,检测电容极板之间的电场线会发生变化,由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计,在大量程下具有大灵敏度,在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。

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