耐老化特性优良的振子用电极材料及使用该材料的压电振子、以及由该材料构成的溅射靶材

发明专利有效专利

申请号：
CN201080059290.7
IPC分类号：H03H9/19
申请日期：
2010-04-28
申请人：
日本电波工业株式会社;田中贵金属工业株式会社

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著录项信息

专利名称	耐老化特性优良的振子用电极材料及使用该材料的压电振子、以及由该材料构成的溅射靶材
申请号	CN201080059290.7	申请日期	2010-04-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-09-19	公开/公告号	CN102687396A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/19 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/15 由压电或电致伸缩材料构成的谐振器的结构特点（H03H 9/25优先）〔3〕 H03H9/17 具有单个谐振器（晶体调谐音叉入H03H 9/21）〔3〕 H03H9/19 由石英构成〔3〕	IPC分类号	H03H9/19查看分类表>
申请人	日本电波工业株式会社;田中贵金属工业株式会社	申请人地址	日本*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	田中贵金属工业株式会社	当前权利人	田中贵金属工业株式会社
发明人	小柏俊典;栗田昌昭;照井贵志;寒江威元;赤根克典;冈本谦藏;上木健一;武田翔平
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	冯雅

摘要

本发明提供能够使振子的制造时不均性及耐老化性比Au良好、成本比Au低的电极材料。本发明为振子用电极材料，其由Au和两种金属M1、M2形成的三元类合金构成，用作在压电片中激发振动的激励电极，其中上述两种金属M1、M2为以下金属：(a)金属M1：压电振子的频率经时特性(Δf1/f1)相对于基准值f1有减小的倾向的金属；(b)金属M2：压电振子的频率经时特性(Δf1/f1)相对于基准值f1有增加的倾向的金属。优选金属M1为Ag、Al、Ni，金属M2为Pd、Ru、Pt、Ir、Rh、Cu。

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实用新型

耐老化特性优良的振子用电极材料及使用该材料的压电振子、以及由该材料构成的溅射靶材

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