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一种磁性生物传感器及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110137589.6
IPC分类号：H01L43/12;H01L43/00;G01N27/72;G01N33/58
申请日期：
2011-05-25
申请人：
北京德锐磁星科技有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种磁性生物传感器及其制备方法
申请号	CN201110137589.6	申请日期	2011-05-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-06-06	公开/公告号	CN102487118A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L43/12 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L43/00 应用电—磁或者类似磁效应的器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备（由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2〕 H01L43/12 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;3;/;1;2;;;H;0;1;L;4;3;/;0;0;;;G;0;1;N;2;7;/;7;2;;;G;0;1;N;3;3;/;5;8查看分类表>
申请人	北京德锐磁星科技有限公司	申请人地址	北京市海淀区上地信息路2号创业园D栋803室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京德锐磁星科技有限公司	当前权利人	北京德锐磁星科技有限公司
发明人	张彪;白虹
代理机构	北京鸿元知识产权代理有限公司	代理人	陈英俊

摘要

本发明公开了一种磁性生物传感器及其制备方法，该方法在一个衬底上生成一个沟槽层，然后在沟槽层中生成对应于磁性生物传感器的沟槽。磁性生物传感器至少一部分在沟槽中生成。

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