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一种离子注入机的可选择的连锁配置方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201410788907.9
IPC分类号：H01J37/317
申请日期：
2014-12-18
申请人：
北京中科信电子装备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种离子注入机的可选择的连锁配置方法
申请号	CN201410788907.9	申请日期	2014-12-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-24	公开/公告号	CN105895484A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7查看分类表>
申请人	北京中科信电子装备有限公司	申请人地址	北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科信电子装备有限公司	当前权利人	北京中科信电子装备有限公司
发明人	王博喜
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种离子注入机的可选择的连锁配置方法，通过软件界面来控制设备开关，包括操作界面(1)、设备开关操作(2)、联锁条件(3)、是否满足联锁条件(4)、打开或关闭设备(5)、操作完成(6)、联锁界面(7)。

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