一种自动去边机视觉寻参装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520461123.5
IPC分类号：G01N21/84
申请日期：
2015-06-30
申请人：
天津中环半导体股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种自动去边机视觉寻参装置
申请号	CN201520461123.5	申请日期	2015-06-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/84 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;4查看分类表>
申请人	天津中环半导体股份有限公司	申请人地址	天津市滨海新区高新区新技术产业园区华苑产业区（环外）海泰东路12号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津中环半导体股份有限公司	当前权利人	天津中环半导体股份有限公司
发明人	靳立辉;王国瑞;李宇佳;张学强;郑全午;高树良
代理机构	天津滨海科纬知识产权代理有限公司	代理人	张莹

摘要

本实用新型提供一种自动去边机视觉寻参装置，包括工作台、定心台、光源、摄像机、镜头和支架，在工作台上设有定心台，在工作台旁设有支架，在定心台上设有吸盘，在吸盘的四周设有定位柱，在定心台的上方依次设有光源和摄像机，镜头与摄像机的接口相连，光源和摄像机均固定在工作台旁的支架上，摄像机通过图像采集卡与计算机相连，计算机与显示器相连。本视觉寻参装置能够在短时间内对硅片参考面进行扫描，硅片无需旋转360°进行边缘扫描；视觉定位后，硅片只需向一个方向旋转某一角度后即可完成寻参过程；自动去边机产能比原寻参机构提高21％，去边精度从±0.3mm提高至±0.2mm。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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