测量物体二维或三维形状的光学仪器

发明专利有效专利

申请号：
CN03802201.X
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2003-01-10
申请人：
英泰克普拉斯有限公司

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著录项信息

专利名称	测量物体二维或三维形状的光学仪器
申请号	CN03802201.X	申请日期	2003-01-10
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2005-05-11	公开/公告号	CN1615426
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	英泰克普拉斯有限公司	申请人地址	韩国大田广域市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英泰克普拉斯有限公司	当前权利人	英泰克普拉斯有限公司
发明人	林双根;金起弘;曹相铉;崔二培;李相允
代理机构	北京润平知识产权代理有限公司	代理人	周建秋

摘要

本发明提供一种二维和三维光学测量仪器，所述仪器能交替地或有选择性地测量物体的二维尺寸和三维特征，并且不使用基准面的反射光而仅使用投射格栅来测量物体的三维特征，从而最大程度地减小测量误差。所述仪器包括：CCD照相机，所述CCD照相机装在探针外壳的上部，用于通过成像透镜产生物体的二维图像和三维图像；第一照明系统，所述第一照明系统装在CCD照相机的下方，并且当测量物体的二维尺寸时照亮被测物体的测量表面；第二照明系统，所述第二照明系统装在第一照明系统的下方并连接到探针外壳(10)底部的图像拾取管上，当测量物体二维尺寸时用于照亮被测物体的角；第三照明系统，所述第三照明系统装在探针外壳的某一部分中，当测量物体的三维特征时，用于通过投射格栅、投射透镜、全反射镜和图像拾取管照亮物体的测量表面；以及压电致动器，所述压电致动器用于精细地移动投射格栅。

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