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模具、压印设备和制造物品的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610083908.2
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2016-02-06
申请人：
佳能株式会社

基础信息

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	模具、压印设备和制造物品的方法
申请号	CN201610083908.2	申请日期	2016-02-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-24	公开/公告号	CN105892230A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	B-J·乔;M·加纳帕蒂苏布拉玛尼安;村里直记;宫岛义一
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	林振波

摘要

本发明涉及模具、压印设备和制造物品的方法。一种模具，包括：图案部，图案部中形成有图案；以及凹部，形成在图案部的背面中，并且在平面图中具有的尺寸能够包容图案部，其中，图案部的边缘在平面图中为矩形形状，以及凹部包括沿着图案部矩形形状侧面的侧壁部。

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